“Энергия тежовчи технологияларда фойдаланиладиган силидсид металл ва яримўтказгич бирикмалар асосидаги наноўлчамли плёнкаларнинг оптик ва электрофизик хоссаларини тадқиқ этиш” номли Инновацион лойиҳа

Лойиҳа раҳбари: Нормурадов Мурадулла физика-математика фанлари доктори, профессор

Фан йўналиши: Математика ва физика. Механика фанлари.

Лойиҳа ҳақида маълумот: Ҳозирги вақтда кремний монокристаллари юзасида ҳосил бўлган ўтиш металлари ва уларнинг силисидларининг юпқа плёнкалари, шунингдек, диелектрик субстратларга бўлган қизиқиш, биринчи навбатда, қаттиқ жисмли электроникада ноёб жисмоний хусусиятларга эга бўлган материалларни яратиш билан боғлиқ. Юпқа плёнкаларнинг хусусиятлари, айниқса, қалинлиги бир неча нанометр бўлган плёнкалар учун қуйма материалларнинг хусусиятларидан сезиларли даражада фарқ қилиши мумкин. Бундай аномал хусусиятлар нанокристалларнинг ўлчамлари электронларнинг де Бройл тўлқин узунлиги билан бир хил даражада бўлганда, ўлчовли квант ҳодисаларининг пайдо бўлиши билан боғлиқ. Ҳозирги вақтда паст ҳароратли плазма ва ионли нурланишдан фойдаланган ҳолда юпқа плёнкаларни чўктиришнинг мавжуд усуллари термал вакуум усули ёрдамида деярли имконсиз бўлган турли хил материаллардан (шу жумладан ўтга чидамли ва кўп компонентли композитсиялардан) плёнкаларни олиш имконини беради. Кам энергияли ион-плазма усулида олинган юпқа плёнкалар асосида янги қурилмаларни яратиш металл/ярим ўтказгич/диелектрик интерфейсларнинг ҳосил бўлиш қонуниятларини ва уларнинг хоссаларини ўрнатишни, шунингдек, нано-плазмаларнинг дастлабки босқичларда ўлчамдаги плёнкалар ва юқори ҳароратларда содир бўладиган қаттиқ фазали реактсиялар ўсиш механизмини батафсил билишни талаб қилади.

Ижрочи ташкилот: Қарши давлат университети

Лойиҳа қиймати: 1 936 350 000 (бир миллиард тўққиз юз ўттиз олти миллион уч юз эллик минг) сўм