Инновационный проект «Исследование оптических и электрофизических свойств наноразмерных пленок на основе силицидных металлов и полупроводниковых соединений, используемых в энергосберегающих технологиях»

Руководитель проекта: Нормурадов Мурадулла профессор, доктор физико-математических наук

Направление науки: Математика и физика. Механика.

Информация о проекте: В настоящее время интерес к тонким пленкам переходных металлов и их силицидов, образующимся на поверхности монокристаллов кремния, а также диэлектрическим подложкам, прежде всего в твердотельной электронике, зависит  от создания материалов с уникальными физическими свойствами. Свойства тонких пленок могут существенно отличаться от свойств объемных материалов, особенно пленок толщиной в несколько нанометров. Такие аномальные свойства связаны с возникновением размерных квантовых явлений, когда размеры нанокристаллов находятся на одном уровне с длиной волны де Бройля электронов. В настоящее время существующие методы нанесения тонких пленок с использованием низкотемпературной плазмы и ионного излучения, которые  практически невозможно термовакуумным методом, позволяют получать пленки из различных материалов (в том числе тугоплавких и многокомпонентных составов). Создание новых устройств на основе тонких пленок, полученных низкоэнергетическим ионно-плазменным методом, позволяет установить закономерности формирования границ раздела металл/полупроводник/диэлектрик и их свойства, а также требует детального знания механизма роста пленки на ранних стадиях возникновения наноплазмы, размерных пленок и твердофазных реакций при высоких температурах. 

Исполнительная организация: Каршинский государственный университет

Стоимость проекта: 1 936 350 000 (один миллиард девятьсот тридцать шесть миллион триста пятьдесят тысяч) сум