MIKRO VA NANOELEKTRONIKA ILMIY-TADQIQOT LABORATORIYASI

Tashkil topgan sanasi: 2023-yil 29-dekabr

Labortoriyaning ilmiy уо’nalishi.

- magnetron changlatish qurilmasi yordamida nanoo‘lchamli yupqa plyonkalar metal silisidlari va yarimo‘tkazgich birikmalarni olish;

- yupqa plyonkalarning elektron tuzulishi, optik va elektrofizik xossa va xususiyatlarini tahlil qilish;

- yangi materiallar va nanostrukturalar aosida yarimo‘tkazgichli qurilmalar: xususan, optic rezonatorlar, elektron va magnit saqlash moslamalari, nurlanish detektorlari, integral mikrosxemalar yaratish bo‘yicha ilmiy tadqiqotlar o‘tkazish;

Laboratoriyaning maqsadi. Mikro va nanoelektronikani rivojlantirish, ushbu sohalarda fan, ta’lim va ishlab chiqarishning integratsiyasini ta’minlash, elektron texnika sohasida qo‘llaniladigan yangi materiallarni olish texnologiyasini amaliyotga joriy etish yo‘lga qo‘yish.

Labortoriyaning vazifasi

– nanoo‘lchamli, yangi materiallar olish texnologiyasi ishlab chiqiladi;

– yarimo‘tkazgichlar sirtida hosil qilinayotgan metal silistsid yupqa plyonkalarining electron tuzilishi, optik va elektrofizik xossalari diognostikasini ishlab chiqish;

– energiya tejovchi texnologiyalarda foydalaniladigan silitsid metall va yarimo‘tkazgich birikmalar asosidagi nanoo‘lchamli stkurturalarni olish texnologiyasini yaratish;

– universitet talabalari, magsitrantlar va doktorantlarni mintaqaviy, Respublika va xalqaro miqyosidagi simpozium seminar va ilmiy konferensiyalarda qatnashishini ta’minlash;

– laboratoriyaning ilmiy tadqiqot ishlari natijalari bo‘yicha yillik va joriy hisobotlar tayyorlash va topshirish uchun zarur tayyorlangan ishlarni amalga oshirish.

Jihozlar:

1. EPOS-PVD-DESK-PRO, 2020

2. IRTracer-100, 2021

3. UV 1900, 2022

4. HMS 5000, 2024

5. Supermini 200,

6. Rigaku, 2024

7. UV 2600, 2025

8. SNE ALPA nano SEM, 2025

9. MG-A1200-1L Atmosphere Furnace, 2025